Der Preis in der Kategorie Innovation ging an das japanische Unternehmen XTREME technologies GmbH aus Alsdorf. Das innovative Unternehmen produziert am Standort Alsdorf Lichtquellen, die EUV-Licht erzeugen. Dieses extreme ultraviolette Licht, kurz EUV, kommt in Reinräumen zum Einsatz und wird in sogenannten Lithographiemaschinen benötigt. Es ist der Schlüssel für einen wichtigen technischen Fortschritt. Dank dieses Lichts kann man zukünftig noch kleinere elektronische Schaltungen herstellen, mit vielen Milliarden von Bauelementen auf einer Siliziumplatine, einem Wafer. Muttergesellschaft des Preisträgers ist der japanische Ushio Konzern. Er beschäftigt weltweit 5.300 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter und erwirtschaftet 1,3 Milliarden Euro. In Alsdorf investierte das Tochterunternehmen 2010 in eine 1.400 Quadratmeter große Reinraumfläche. 200 Arbeitsplätze sind seitdem entstanden, 80 davon entwickeln und forschen am Fraunhofer-Institut für Lasertechnik und an der RWTH Aachen. 2011 lieferte die Firma die ersten Lichtquellen. Start der Massenproduktion der Halbleiter ist für 2014 geplant.